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<p>본 발명은 게터 펌프, 특히 터보분자 펌프와 동축으로 그 부근의 상류에서 사용하기에 적합한 게터 펌프에 관한 것으로서, 원통형 카트리지(10)의 내부에 곡부(18, 18a)를 갖춘 연속 코일형 금속 와이어로 형성되거나 두 개의 단부점(22) 사이에서 연속해 있는 다수의 지그재그형상의 세그먼트로 형성되어 있는 게터 장치(20)를 포함하고 있으며, 게터 장치(20)는 고리형 주변지역 내에 놓여져 있고, 카트리지(10)와 동축이며 분말 형태의 비증발성 게터 물질로 된 다공질 층이 코팅되어 있다. 카트리지(10)는 강철 스터브(30) 내에 삽입되고, 그 일측면이 진공처리될 챔버에 체결되고 다른 측면은 터보분자 펌프에 체결된다. 게터 장치(20)는 단부(22)를 통해 외부로부터 전류를 직접 공급받을 수 있다.</p> |
