小晶圆物理气相沈积夹持结构

摘要

本创作系关于一种小晶圆物理气相沈积夹持结构，系于转盘之凹弧面上设有数个透孔，各透孔顶缘则设有两耳孔，并于转盘各透孔之两耳孔间螺固一支撑板，各支撑板与转盘凹弧面形成一上仰角倾斜，各支撑板之两侧各装设可弹性压制小晶圆片之弹簧;本创作利用将支撑板螺固于转盘两两耳孔间之设计，可达成制造组装快速、成本低廉、维修方便及调整容易等功效增进。

主权项

1.一种小晶圆物理气相沈积夹持结构,系设有一具有凹弧面之转盘,该转盘之凹弧面表面贯穿多数个透孔,各透孔顶缘两侧各设有与透孔相连通之耳孔,而该转盘各透孔相对于两耳孔间系螺固一支 板,使各支 板于转盘凹弧面上形成一上仰角之倾斜,并使各支 板之两侧跨置于两耳孔上方,并相对于两耳孔上方穿置一弹簧,使各弹簧系凸伸一压制端与支 板面形成弹性压制者。2.如申请专利范围第1项所述之小晶圆物理气相沈积夹持结构,其中各支 板顶缘系凸伸出一固定凸缘来螺固于转盘凹弧面上,并使各支 板与固定凸缘间,系形成一固定仰角倾斜之夹角。3.如申请专利范围第1项所述之小晶圆物理气相沈积夹持结构,其中各支 板之弹簧,系利用弹簧之压制端来穿设于支 板两侧之半圆形嵌孔上。图式简单说明:第一图:系本创作转盘整体外观之立体分解示意图。第二图:系本创作转盘局部放大之立体分解示意图。第三图:系本创作转盘之整体平面示意图。第四图:系本创作转盘之局部纵向剖面示意图。第五图:系物理气相沈积装置之立体外观示意图。第六图:系习用转盘之立体外观示意图。第七图:系习用转盘之整体平面示意图。第八图:系习用转盘之局部纵向剖面示意图。