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<p>Zur klima- und korrosionsstabilen Einkapselung eines Schichtaufbaus mit zumindest einer korrosions- und/oder feuchtigkeitsempfindlichen Schicht, beispielsweise einer Solarzelle, wird über dieser Schicht eine Sperrschicht angeordnet. Dafür werden Dünnschichten aus Titan- oder Molybdännitrid, Aluminiumoxid, Siliziumnitrid und Siliziumoxinitrid vorgeschlagen. Die Sperrschicht kann mit einem zusätzlichen, von Solarzellen bekannten Laminataufbau kombiniert werden.</p> |
