发明名称 接触面の少なくとも一方において、接触面の一方に施与された犠牲層を溶解させながら金属接触面を接合する方法
摘要 本発明は、第1基板(1、1')の少なくとも部分的に金属製の第1接触面と、第2基板の少なくとも部分的に金属製の第2接触面とを、以下の工程、特に以下の経過:‐前記接触面の少なくとも一方の材料中に、少なくとも部分的に、特に主に溶解可能な犠牲層(4)を前記接触面の少なくとも一方に施与する工程、‐前記犠牲層(4)の少なくとも部分的な溶解下で、前記接触面の少なくとも一方において前記基板(1、1')を接合する工程を有する接合方法に関する。接触面は、接合領域(3)全面に配置してよい。または接触面は、バルク材料(5)により取り込まれているか、または基板空洞(2)内に配置されている、複数の接合領域(3')から形成してもよい。基板間の予備接合を形成するために、液体(例えば水)を使用することができる。
申请公布号 JP2016524335(A) 申请公布日期 2016.08.12
申请号 JP20160522292 申请日期 2013.07.05
申请人 エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー 发明人 ベアンハート レープハン
分类号 H01L21/60;B23K20/00 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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