摘要 |
本発明は、第1基板(1、1')の少なくとも部分的に金属製の第1接触面と、第2基板の少なくとも部分的に金属製の第2接触面とを、以下の工程、特に以下の経過:‐前記接触面の少なくとも一方の材料中に、少なくとも部分的に、特に主に溶解可能な犠牲層(4)を前記接触面の少なくとも一方に施与する工程、‐前記犠牲層(4)の少なくとも部分的な溶解下で、前記接触面の少なくとも一方において前記基板(1、1')を接合する工程を有する接合方法に関する。接触面は、接合領域(3)全面に配置してよい。または接触面は、バルク材料(5)により取り込まれているか、または基板空洞(2)内に配置されている、複数の接合領域(3')から形成してもよい。基板間の予備接合を形成するために、液体(例えば水)を使用することができる。 |