| 摘要 |
<p>본 고안은 반도체의 밀착향상제 공급장치에 관한 것으로, 종래에는 밀착향상제(HMDS)가 정상적으로 공급되는지를 식별할 수 있는 압력 플로팅 게이지가 장치의 내부에 장착되어 있으므로 정기적인 모니터가 불가능하여 문제발생시 대형사고의 원인이 되는 문제점이 있었던바, 본 고안의 반도체의 밀착향상제 공급장치는 플로팅 게이지 내부에 삽입되는 플로팅 볼의 상승과 하강을 감지하도록 광원부와 광검출부를 설치하고, 이 광검출부에서 빛을 강지하지 못한 경우 광차단시간을 디스플레이하여 작업자가 쉽게 확인하도록 광검출부와 디스플레이 패널을 연결함으로써, 작업자가 HMDS가 정상적으로 공급되는지에 대한 이상유무를 수시로 확인할 수 있으므로 시스템 이상발생시 즉각적인 대응이 가능하여 대형사고를 예방할 수 있게 한 것이다.</p> |
