| 发明名称 |
PRODUCTION OF SUPERCONDUCTOR THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0459605(A) |
申请公布日期 |
1992.02.26 |
| 申请号 |
JP19900171965 |
申请日期 |
1990.06.28 |
| 申请人 |
VICTOR CO OF JAPAN LTD |
发明人 |
SHIGETA MASANOBU;NATSUBORI YASUYUKI;KONNO TOSHIO |
| 分类号 |
C01B13/14;C01G1/00;C01G29/00;C23C14/08;C23C14/46;C23C14/48;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C01B13/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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