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发明名称 SEMICONDUCTOR MEMORY
摘要
申请公布号 JPH08330538(A) 申请公布日期 1996.12.13
申请号 JP19950138193 申请日期 1995.06.05
申请人 SONY CORP 发明人 HIRONAKA KATSUYUKI;AMI TAKAAKI;WATABE KOJI;MACHIDA AKIO
分类号 C23C14/08;G11C11/22;H01L21/28;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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