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发明名称 Vorrichtung zur Erzeugung von Licht mit kurzer Wellenlänge
摘要
申请公布号 DE69303198(T2) 申请公布日期 1996.12.12
申请号 DE19936003198T 申请日期 1993.03.02
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., KADOMA, OSAKA, JP 发明人 KITAOKA, YASUO, KAWACHINAGANO-SHI, OSAKA, JP;YAMAMOTO, KAZUHISA, SETTSU-SHI, OSAKA, JP;MIZUUCHI, KIMINORI, NEYAGAWA-SHI, OSAKA, JP;KATO, MAKOTO, NISHINOMIYA-SHI, HYOGO-KEN, JP;SOGAWA, FUMIHIRO, SETAGAYA-KU, TOKYO, JP
分类号 H01S3/0941;H01S3/109;H01S5/06;H01S5/10;H01S5/14;(IPC1-7):H01S3/109;H01S3/085;H01S3/08 主分类号 H01S3/0941
代理机构 代理人
主权项
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