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发明名称 METHOD FOR TESTING THE LEAKAGE RATE OF VACUUM CAPSULATED DEVICES
摘要
申请公布号 CA2588854(A1) 申请公布日期 2006.06.15
申请号 CA20052588854 申请日期 2005.11.10
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 REINERT, WOLFGANG;MERZ, PETER;KAEHLER, DIRK
分类号 G01M3/18;G01M3/22;G01M3/32 主分类号 G01M3/18
代理机构 代理人
主权项
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