发明名称 Process for analysing the time of flight using continuous scanning, and analytical device for carrying out this process.
摘要 <p>L'invention concerne un procédé d'analyse en temps de vol, consistant à : - balayer d'une manière continue la surface d'un échantillon solide (3), par un faisceau de particules primaires (1) pour arracher à l'échantillon (3) des particules secondaires (4), et les ioniser ; - constituer un faisceau de particules secondaires (4) et lui faire parcourir un chemin suffisamment long pour que des particules secondaires ayant des énergies différentes et/ou des masses différentes aient des temps de vol sensiblement différents ; - discriminer ensuite les particules secondaires (4) en les déviant selon un angle variable périodiquement en fonction du temps, avec la même période que celle du balayage par le faisceau de particules primaires (1) mais avec un déphasage fixé tel que les particules secondaires (4) ayant un temps de vol donné soient déviées dans une direction prédéterminée (oz), quel que soit le point de l'échantillon (3) où elles ont été arrachées ; - sélectionner les particules secondaires (4) se déplaçant dans la direction prédéterminée (oz). Application aux appareils d'analyse.</p>
申请公布号 EP0320354(A1) 申请公布日期 1989.06.14
申请号 EP19880403067 申请日期 1988.12.05
申请人 CAMECA 发明人 MIGEON, HENRI;RASSER, BERNARD
分类号 G01N23/22;H01J37/252;H01J49/40 主分类号 G01N23/22
代理机构 代理人
主权项
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