发明名称 AN ELECTRON JET VAPOR DEPOSITION SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0753081(A1) 申请公布日期 1997.01.15
申请号 EP19960907039 申请日期 1996.02.09
申请人 JET PROCESS CORPORATION 发明人 HALPERN, BRET
分类号 C23C14/22;C23C14/32;H01J37/305;(IPC1-7):C23C14/22;H01J37/00 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
地址