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发明名称 GAS SUPPLY APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20070046749(A) 申请公布日期 2007.05.03
申请号 KR20060105843 申请日期 2006.10.30
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 GOMI HISASHI;SAITO TETSUYA;KAKEGAWA TAKASHI;MASE TAKAHISA;KOIZUMI MAKOTO;TADA KUNIHIRO;WAKABAYASHI SATOSHI;NARUSHIMA KENSAKU;CHENG FANG
分类号 H01L21/3065;H01L21/304 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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