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发明名称 CONTAMINATION SUPPRESSION IN CHEMICAL FLUID DEPOSITION
摘要
申请公布号 EP1466353(A4) 申请公布日期 2008.04.16
申请号 EP20020796032 申请日期 2002.12.20
申请人 UNIVERSITY OF MASSACHUSETTS 发明人 WATKINS, JAMES, J.;CABANAS, ALBERTINA;BLACKBURN, JASON, W.
分类号 C23C16/18;C23C16/52;C23C18/08;C23C18/40;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/44;H01L21/469 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人
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