发明名称 |
氮化物半导体发光元件、氮化物半导体发光器件及其制造方法 |
摘要 |
本发明的氮化物半导体器件,包括:n-GaN基板(10),形成在n-GaN基板(10)的主面上的、包含p型区和n型区及其之间的有源层的半导体叠层结构。在半导体叠层结构上面处形成具有开口部的SiO<SUB>2</SUB>层(30)和与半导体叠层结构中所包含的p型区域的一部分相接触的p侧电极,在基板(10)的背面处形成n侧电极(36)。p侧电极包含与p型区的一部分相接触的p侧接触电极(2)和覆盖p侧接触电极(2)及SiO<SUB>2</SUB>层(30)的p侧布线电极(34),p侧接触电极(32)的一部分自p侧布线电极(34)露出。 |
申请公布号 |
CN101356701A |
申请公布日期 |
2009.01.28 |
申请号 |
CN200680050923.1 |
申请日期 |
2006.12.27 |
申请人 |
松下电器产业株式会社 |
发明人 |
长谷川義晃;菅原岳;横川俊哉 |
分类号 |
H01S5/042(2006.01) |
主分类号 |
H01S5/042(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
汪惠民 |
主权项 |
1、一种氮化物半导体发光元件,包括:·包含n型杂质的氮化物类半导体基板;配置在上述半导体基板的主面上、包含p型区及n型区和配置在其间的有源层的半导体叠层结构;配置在上述半导体叠层结构上面处、具有开口部的绝缘膜;配置在上述半导体叠层结构上面侧、在上述绝缘膜的上述开口部与上述半导体叠层结构所包含的上述p型区的一部分相接触的p侧电极;以及设置在上述半导体基板的背面处的n侧电极,上述p侧电极包含与上述p型区的一部分相接触的第1p侧电极层和配置在上述第1p侧电极层上的第2p侧电极层;上述第1p侧电极层的一部分自上述第2p侧电极层露出。 |
地址 |
日本大阪府 |