发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03163827(A) 申请公布日期 1991.07.15
申请号 JP19890302921 申请日期 1989.11.21
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IRINO KIYOSHI
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利