发明名称 PATTERN INSPECTING METHOD, DEVICE THEREFOR AND PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH10340347(A) 申请公布日期 1998.12.22
申请号 JP19970150652 申请日期 1997.06.09
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHISHIDO CHIE;WATANABE MASAHIRO;HIROI TAKASHI;TANAKA MAKI;KUNI TOMOHIRO;SHINADA HIROYUKI;NOZOE MARI;SUGIMOTO ARITOSHI
分类号 H01L21/66;G06T1/00;G06T7/00;(IPC1-7):G06T7/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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