发明名称
摘要
申请公布号 JP2880638(B2) 申请公布日期 1999.04.12
申请号 JP19940054438 申请日期 1994.03.01
申请人 NIPPON MUSEN KK 发明人 ASADA YOSHUKI;SUKAI HIROSHI
分类号 H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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