发明名称 OZONE ASHER APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100621788(B1) 申请公布日期 2006.09.01
申请号 KR20050027574 申请日期 2005.04.01
申请人 DOOSAN DND CO., LTD. 发明人 KIM, SEOK WOO;KIM, JIN TAE;JOO, JONG RYANG;HWANG, GEUM CHUL
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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