RASTER NEAR FIELD MICROSCOPY IN THE MICROWAVE AND TERAHERTZ RANGES WITH A SIGNAL PROCESSING DEVICE INTEGRATED IN THE MEASURING TIP

摘要

Es ist ein abbildender Mikrowellen-Prober (1) mit mindestens einer Messspitze (5) an einem Messarm (2), wobei mindestens eine der Messspitzen (5) eine Antenne (6) zur Detektion oder Emission elektromagnetischer Signale trägt und die Messspitze im Nahfeld wesentlich kleiner als die Wellenlänge der elektromagnetischen Signale ist, einer Positioniereinrichtung zur Positionierung eines zu vermessenden Objektes (3) relativ zu der Messspitze (5) in mindestens einer Raumdimension (X, Y, Z), mit einer mit der Antenne (6) elektrisch verbundenen Signalverarbeitungseinrichtung (7) zur Umwandlung des Sensorsignals der Antenne (6) in ein Messsignal mit zur Auswertung geeigneter reduzierter Frequenz oder zum Umwandeln eines Koppelsignals mit reduzierter Frequenz in ein von der Antenne (6) zu emittierendes Signal beschrieben. Die Signalverarbeitungseinrichtung (7) ist angrenzend an die Antenne (6) auf der Messspitze (5) integriert und eine Mess-/Koppelsignalübertragungsstrecke (8) für das Mess- und/oder Koppelsignal verläuft mit einer so gewählten Frequenz von der Signalverarbeitungseinrichtung (7) zu einer von der Messspitze (5) entfernt angeordneten Messeinheit (9), dass das Mess- und/oder Koppelsignal ohne wesentliche Störung der Messumgebung transportierbar ist.