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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM WACHSMONTIEREN DUENNER WAFER ZUM POLIEREN
摘要
申请公布号 DE3107995(A1) 申请公布日期 1982.01.28
申请号 DE19813107995 申请日期 1981.03.03
申请人 MONSANTO CO. 发明人 JEROME WALSH,ROBERT
分类号 B32B37/00;B24B37/30;B28D5/00;H01L21/302;H01L21/68;(IPC1-7):24B37/04 主分类号 B32B37/00
代理机构 代理人
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