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发明名称
Integrated circuit with planar dielectric layer
摘要
申请公布号
US5200358(A)
申请公布日期
1993.04.06
申请号
US19910793070
申请日期
1991.11.15
申请人
AT&T BELL LABORATORIES
发明人
BOLLINGER, CHERYL A.;CHEN, MIN-LIANG;FAVREAU, DAVID P.;STEINER, KURT G.;VITKAVAGE, DANIEL J.
分类号
H01L21/316;H01L21/60;H01L21/768
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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