发明名称 Integrated circuit with planar dielectric layer
摘要
申请公布号 US5200358(A) 申请公布日期 1993.04.06
申请号 US19910793070 申请日期 1991.11.15
申请人 AT&T BELL LABORATORIES 发明人 BOLLINGER, CHERYL A.;CHEN, MIN-LIANG;FAVREAU, DAVID P.;STEINER, KURT G.;VITKAVAGE, DANIEL J.
分类号 H01L21/316;H01L21/60;H01L21/768 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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