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发明名称 Optically driven micro actuator
摘要
申请公布号 EP1554617(A2) 申请公布日期 2005.07.20
申请号 EP20030797489 申请日期 2003.09.22
申请人 KILOLAMBDA TECHNOLOGIES LTD. 发明人 NEVO, DORON;ORON, RAM;ORON, MOSHE
分类号 G02B6/35;G02B6/293;G02B26/08;(IPC1-7):G02B6/00 主分类号 G02B6/35
代理机构 代理人
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