| 摘要 |
Le système à spectromètre de masse d'ions secondaires possède une lentille collectrice d'ions (100) comprenant trois sections de lentilles coniques (102, 103, 104) alignées le long d'un axe (101), des plaques de déflexion (105-108) pour dévier dynamiquement un faisceau d'ions le long de cet axe (101), la combinaison des sections de lentille (102-104) et des plaques de déviation (105-108) permettant de focaliser les ions au niveau d'une ouverture d'entrée (202) d'un spectromètre d'énergie ionique (200) formé par deux secteurs à 90° (204, 205) de plaques arquées sphériques, par une lentille de décélération d'ions (300), par un spectromètre de masse quadripolaire (400) et par un détecteur d'ions (500). En combinaison, les trois sections coniques de lentille (102-104) accélèrent les ions à partir d'une surface d'échantillon (10), décélèrent ces ions dans un spectromètre d'énergie ionique (200) pour permettre une correspondance de plage d'énergie sur le spectromètre de masse quadripolaire (400), et focalisent les ions sur l'orifice d'entrée (202) du spectromètre d'énergie ionique (200). |
