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发明名称
摘要
申请公布号	JP2513716(Y2)	申请公布日期	1996.10.09
申请号	JP19920089588U	申请日期	1992.12.01
申请人		发明人
分类号	G01B13/24;H01L21/66;H01L21/673;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68	主分类号	G01B13/24
代理机构		代理人
主权项
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