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发明名称
FILM PROBE
摘要
申请公布号
JPH11248750(A)
申请公布日期
1999.09.17
申请号
JP19980055063
申请日期
1998.03.06
申请人
TOKYO CATHODE LABORATORY CO LTD
发明人
YOSHIZOE MAKOTO
分类号
G01R31/26;G01R1/073;G01R31/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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