PLASMA TREATMENT APPARATUS,申请号KR20050052197-传众专利搜索

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发明名称	PLASMA TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号	KR100621778(B1)	申请公布日期	2006.09.01
申请号	KR20050052197	申请日期	2005.06.17
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	SON, SUNG KU
分类号	H01L21/3205	主分类号	H01L21/3205
代理机构		代理人
主权项
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