| 主权项 |
1.一种基板用升降装置(2),其具一固持件(10),其特征为,固持件(10)系藉其本身之转动或摆动与一基板载体(25)接合,且固持件(10)之转动或摆动系藉基板载体(25)之运动而造成。2.根据申请专利范围第1项所述之升降装置(2),其特征为,固持件(10)可对一中心轴转动。3.根据申请专利范围第1项所述之升降装置(2),其特征为,固持件(10)可对一摆动点摆动。4.根据申请专利范围第1项所述之升降装置(2),其特征为,固持件(10)在静止位置施加预力。5.根据申请专利范围第4项所述之升降装置(2),其特征为,固持件(10)系藉至少一磁铁(15;16)在静止位置施加预力。6.根据申请专利范围第5项所述之升降装置(2),其特征为,在升降装置(2)之支持臂(7)上至少有一磁铁(16)。7.根据申请专利范围第5项所述之升降装置(2),其特征为,在固持件(10)上有多个磁铁(15)。8.根据申请专利范围第7项所述之升降装置(2),其特征为,在固持件(10)上有四个磁铁(16)。9.根据申请专利范围第1项所述之升降装置(2),其特征为,固持件(10)主要系具径向伸出之股(12)。10.根据申请专利范围第9项所述之升降装置(2),其特征为,固持件(10)具一个四股或五股之星形形状。11.根据申请专利范围第1项所述之升降装置(2),其特征为,感测装置用以感测基板之升降高度。图式简单说明:第一图本发明升降装置之示意侧视图;第二图本发明升降装置在接合位置之上视图;第三图本发明升降装置在中间位置之上视图。 |
