真空石英加热器

摘要

一种集成电路生产工艺中使用的真空石英加热器由石英套管、电炉丝、电极片、钨丝及电源线组成，在石英套管两端出口处各加有一电极片并抽成真空，两电极片一端分别与电源线连接，另一端与钨丝焊接，钨丝的另一端与电炉丝的两端焊接在一起。本实用新型既耐腐蚀又使用安全、方便、可靠，且防止了加热过程中引起的金属离子污染，是集成电路工艺中一种良好的加热升温装置。

主权项

1.一种真空石英加热器，包括石英套管、穿在石英套管中加热用的电炉丝和电源，其特征在于：在石英套管两端出口处各有一个电极片并抽成真空，两电极片一端分别与电源线连接，另一端与钨丝焊接，钨丝的另一端与电炉丝的两端焊接在一起。