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发明名称 Vorrichtung zum Aufbringen dünner Schichten auf ein Substrat
摘要
申请公布号 DE19609970(A1) 申请公布日期 1997.09.18
申请号 DE19961009970 申请日期 1996.03.14
申请人 LEYBOLD SYSTEMS GMBH, 63450 HANAU, DE 发明人 SZCZYRBOWSKI, JOACHIM, DR., 63773 GOLDBACH, DE;TESCHNER, GOETZ, 63450 HANAU, DE;BRUCH, JUERGEN, 63546 HAMMERSBACH, DE
分类号 C23C14/34;C23C14/00;C23C14/54;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/22;B01D53/30 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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