发明名称 PATTERN FOR CONFIRMING ADHESION OF PHOTORESIST IN SEMICONDUCTOR APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0161120(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950019708 申请日期 1995.07.06
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO., LTD. 发明人 SHIN, PIL-SIK
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
地址