发明名称 PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0157990(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19910009758 申请日期 1991.06.13
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 ARAI, IZUMI;TAHARA, YOSHIFUMI;HRIUCHI, TAKAO;FUJISAWA, KUNIYTOSHI;KOJIMA, HIROSHI;AOKI, MAKOTO
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/30;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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