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经营范围
发明名称
PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR0157990(B1)
申请公布日期
1999.02.01
申请号
KR19910009758
申请日期
1991.06.13
申请人
TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人
ARAI, IZUMI;TAHARA, YOSHIFUMI;HRIUCHI, TAKAO;FUJISAWA, KUNIYTOSHI;KOJIMA, HIROSHI;AOKI, MAKOTO
分类号
H01L21/302;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/30;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/30
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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