特别适于作为光阻之聚合物与光阻组合物

摘要

一种水可溶性聚合物，其与适当光酸产生剂(PAG)并用时会形成一种负型水可溶性光阻。该聚合物包括一种主干，诸如聚乙烯醚，其藉由一个键合基团与乙缩醛受保护β-酮酸基偶合。添加若干种市售光酸产生剂时，该聚合物调配物形成一种水可溶性之负光阻。曝于辐射会导致该乙缩醛基之光酸催化去保护作用，产生β-酮酸，其经加热作用而产生脱羧作用，产生不溶于水之光产物，并放出 CO2作为副产物。此光化学诱导反应造成聚合物可溶性参数明显改变，而且该产物不再呈水可溶性。因为此可溶性改变不需要交联作用，所以显影期间曝于该水性底质时抗蚀剂影像不会润胀，因此不会损失解析度。此使得于i射线与深UV波长时欲使用光阻呈细解析度。

主权项

1.一种特别适于作为光阻之聚合物,包括下列结构:其中R1-R4各为H、(C1-C5)烷基或(C1-C5)烷氧基,X为C=O、OCO、CONH、O、芳基(C1-C5)烷基。2.如申请专利范围第1项之聚合物,另外包括一种光酸产生剂以形成一种光阻。3.一种特别适于作为光阻之聚合物,包括a)一种聚合物主干,其系包括一种或多种聚乙烯基乙烯醚类、丙烯酸酯类、甲基丙烯酸酯类、乙烯基酚醛塑料、乙烯基羧酸类与乙烯基丙烯醯胺类;b)一种乙缩醛受保护-酮酸基,其系包括一种2-经取代3,3-伸乙基二氧-丁酸;及c)一种与该主干及该乙缩醛受保护-酮酸基连接之键合基团,其中该键合基团包括一种或多种酯基、一种苯基、一种烷基与一种烷氧基。4.一种光阻组合物,包括:a)一种聚合物主干,其系包括一种或多种聚乙烯基乙烯醚类、丙烯酸酯类、甲基丙烯酸酯类、乙烯基酚醛塑料、乙烯基羧酸类与乙烯基丙烯醯胺类;b)一种乙缩醛受保护-酮酸基,其系包括一种2-经取代3,3-伸乙基二氧-丁酸;c)一种与该主干及该乙缩醛受保护-酮酸基连接之键合基团,其中该键合基团包括一种或多种酯基、一种苯基、一种烷基与一种烷氧基;及d)一种可使该乙缩醛基去保护之光活化剂。5.如申请专利范围第4项之光阻组合物,其中该光活化剂包括一种光酸产生剂。