发明名称
摘要
申请公布号 JPS5754279(Y2) 申请公布日期 1982.11.24
申请号 JP19780010958U 申请日期 1978.01.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;H01L21/60;H01L21/607 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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