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发明名称 DOPING OF III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH02229425(A) 申请公布日期 1990.09.12
申请号 JP19890049701 申请日期 1989.03.01
申请人 RIKAGAKU KENKYUSHO 发明人 IIMURA YASUFUMI;DEN SHOJI;NAGATA AKIRA;AOYANAGI KATSUNOBU;NANBA SUSUMU
分类号 H01L21/205;H01L21/203 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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