发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11233642(A) 申请公布日期 1999.08.27
申请号 JP19980345296 申请日期 1998.12.04
申请人 LG SEMICON CO LTD 发明人 CHO WON JU
分类号 H01L29/78;H01L21/8234;H01L27/088;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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