连熔法生产集成电路用大口径透明石英玻璃管的方法

摘要

连熔法生产集成电路用大口径透明石英玻璃管的方法，其特征在于，将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制而成；原料高纯石英砂在投入连熔炉后、加热熔融前，对高纯石英砂进行120－180分钟的预热处理，将高纯石英砂预热至550－650℃，再进行加热熔融；所述的连熔炉钨钼坩埚上部为预热段，下部为熔融段，预热处理在连熔炉钨钼坩埚的预热段内进行；所述钨钼坩埚的直径为330－370mm，高度为1450－1500mm；连熔炉内的熔融温度为2050－2150℃；所述的成形器的直径为190－210mm；连熔炉的料台直径为210－215mm；熔融段通入连熔炉的电加热钼电极的电流为210－220A，电压为19－20V。该方法提高了产品质量，可生产出大规格石英玻璃管。

主权项

1、一种连熔法生产集成电路用大口径透明石英玻璃管的方法，其特征在于，将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成大口径透明石英玻璃管；原料高纯石英砂在投入连熔炉后、加热熔融前，对高纯石英砂进行120-180分钟的预热处理，将高纯石英砂预热至550-650℃，再进行加热熔融；所述的连熔炉钨钼坩锅上部为预热段，下部为熔融段，预热处理在连熔炉钨钼坩锅的预热段内进行；所述钨钼坩锅的直径为330-370mm，高度为1450-1500mm；连熔炉内的熔融温度为2050-2150℃；所述的成形器的直径为190-210mm；连熔炉的料台直径为210-215mm；熔融段通入连熔炉的电加热钼电极的电流为210-220A，电压为19-20V。