发明名称 METHOD FOR MEASURING PITCH
摘要
申请公布号 JPH02293614(A) 申请公布日期 1990.12.04
申请号 JP19890113756 申请日期 1989.05.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 TOMITA HIDEO;SASA HARUO;SUZUKI KAZUYUKI;OIKAWA KENJI
分类号 G01B11/26;G01B21/16 主分类号 G01B11/26
代理机构 代理人
主权项
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