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经营范围
发明名称
CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR0167474(B1)
申请公布日期
1999.02.01
申请号
KR19910020237
申请日期
1991.11.14
申请人
TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人
KUMAGAI, YOSIO
分类号
B05C3/02;B05C9/10;B08B15/00;B08B17/02;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
B05C3/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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