发明名称 CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0167474(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19910020237 申请日期 1991.11.14
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 KUMAGAI, YOSIO
分类号 B05C3/02;B05C9/10;B08B15/00;B08B17/02;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B05C3/02
代理机构 代理人
主权项
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