发明名称 FORMATION OF ALIGNMENT MARK
摘要
申请公布号 JPH04275555(A) 申请公布日期 1992.10.01
申请号 JP19910037480 申请日期 1991.03.04
申请人 FUJI XEROX CO LTD 发明人 MIYAJIMA YASUSHI;NISHIKAWA EIJI;TAKAYAMA YASUO;ENDO NOBORU;TAMAYA MITSUYUKI;MIYAUCHI SEIJI
分类号 G03F9/00;H01L23/12 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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