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发明名称 MINUTE-PARTICLE SAMPLING SYSTEM IN LOW-PRESSURE AIR, MINUTE-PARTICLE MEASURING SYSTEM, CHEMICAL REACTION DEVICE, CVD DEVICE AND ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06249766(A) 申请公布日期 1994.09.09
申请号 JP19930037001 申请日期 1993.02.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 EBAN HOITSUTOBII;HOSHINO MASAKAZU;TSUZUKI KOICHI
分类号 G01N1/00;G01N1/02;G01N1/22;G01N15/00;(IPC1-7):G01N1/22 主分类号 G01N1/00
代理机构 代理人
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