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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING MULTISCAN
摘要
申请公布号 SU1285545(A1) 申请公布日期 1987.01.23
申请号 SU19853871120 申请日期 1985.03.25
申请人 FIZIKO-TEKHNICHESKIJ I IM.A.F.IOFFE 发明人 BERKOVSKAYA KARINA F,SU;KIRILLOVA NATALYA V,SU;PODLASKIN BORIS G,SU;STOLOVITSKIJ VLADIMIR M,SU;SUKHANOV VLADISLAV L,SU
分类号 H01L31/18 主分类号 H01L31/18
代理机构 代理人
主权项
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