MIT SIO2-X UEBERZOGENE GEGENSTAENDE DURCH PLASMACHEMISCHE ABSCHEIDUNG AUS DER DAMPFPHASE UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG SOLCHER UEBERZUEGE DURCH PLASMACHEMISCHE ABSCHEIDUNG AUS DER DAMPFPHASE.,申请号DE19863672880-传众专利搜索

发明名称	MIT SIO2-X UEBERZOGENE GEGENSTAENDE DURCH PLASMACHEMISCHE ABSCHEIDUNG AUS DER DAMPFPHASE UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG SOLCHER UEBERZUEGE DURCH PLASMACHEMISCHE ABSCHEIDUNG AUS DER DAMPFPHASE.
摘要
申请公布号	DE3672880(D1)	申请公布日期	1990.08.30
申请号	DE19863672880	申请日期	1986.04.15
申请人	OVONIC SYNTHETIC MATERIALS CO., INC., TROY, MICH., US	发明人	PAI, PURNACHANDRA, BIRMINGHAM MI 48009, US;CHAO, BENJAMIN S., TROY MI 48084, US;HART, KEITH LAVERNE, FLAT ROCK MI 48134, US;TAKAGI, YASUO STANFORD UNIVERSITY, STANFORD CA 94305, US;CUSTER, RUSS C., CLAWSON MI 48017, US;MURATA, TOMOMI, TOTSUKA YOKOHAMA, JP;ITO, SATOSHI, TOKYO, JP
分类号	C23C16/40;C23C16/50;C23C16/511;(IPC1-7):C23C16/40	主分类号	C23C16/40
代理机构		代理人
主权项
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