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发明名称 A PROCESS OF FORMING A CONDUCTOR PATTERN
摘要
申请公布号 EP0341843(A3) 申请公布日期 1991.03.27
申请号 EP19890303819 申请日期 1989.04.18
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 ITO, HIROSHI;KROUNBI, MOHAMAD TOWFIK;LEE, RODNEY EDGAR
分类号 H01L21/3205;C23C14/04;G03F7/09;G11B5/127;G11B5/187;(IPC1-7):G03F7/02 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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