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发明名称
Wafer prober
摘要
申请公布号
GB2284949(B)
申请公布日期
1997.07.09
申请号
GB19940024431
申请日期
1994.12.02
申请人
* TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
发明人
TAKASHI * ISHIMOTO
分类号
G01R31/28;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28;G01R1/067
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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