离子束导管

摘要

本发明系涉及一种离子布植器，且特别是涉及用于离子布植器中的离子束导管。该导管在该布植器中位于与待布植晶圆相邻的位置。且该导管系主要在布植期间限制用于晶圆中和的带电粒子。有利地，导管具有向外逐渐变细的中心内径，藉此缓解当离子束通过导管时出现射束撞击的问题。