发明名称 Active matrix substrate inspecting device
摘要
申请公布号 US5258705(A) 申请公布日期 1993.11.02
申请号 US19910809910 申请日期 1991.12.19
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 OKAMOTO, MASAYA;FUNADA, FUMIAKI;YOSHII, SHOJI
分类号 G01R1/07;G01R31/308;G02F1/13;G02F1/135;G02F1/1362;(IPC1-7):G01R31/02 主分类号 G01R1/07
代理机构 代理人
主权项
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