| 发明名称 |
REGENERATING METHOD OF ETCHANT AND ETCHING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06330354(A) |
申请公布日期 |
1994.11.29 |
| 申请号 |
JP19930139855 |
申请日期 |
1993.05.20 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
SHIMAMUNE MASAYUKI;ENOMOTO TAKASHI;DANJIYOU KATSUSHI;MURATA TATSUO |
| 分类号 |
C04B41/91;B28B7/34;C23F1/08;C23F1/30;C23F1/46;G01N9/36;G09F9/30;(IPC1-7):C23F1/46 |
主分类号 |
C04B41/91 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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