发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF THE SAME
摘要
申请公布号 JPH0411750(A) 申请公布日期 1992.01.16
申请号 JP19900114775 申请日期 1990.04.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HAYAFUJI AKIO
分类号 H01L21/302;H01L21/20;H01L21/3065;H01L21/76;H01L21/764 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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