发明名称 TEMPERATURE COMPENSATION IN A REGULATED HEAT CONDUCTION VACUUM GAUGE
摘要
申请公布号 EP0689669(A1) 申请公布日期 1996.01.03
申请号 EP19940909045 申请日期 1994.02.25
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 SCHOROTH, ANNO
分类号 G01D3/028;G01L21/12;(IPC1-7):G01L21/12 主分类号 G01D3/028
代理机构 代理人
主权项
地址