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发明名称 NOVEL GLASS DEPOSITION VISCOELASTIC FLOW PROCESS
摘要
申请公布号 EP0460106(A4) 申请公布日期 1992.02.26
申请号 EP19900905069 申请日期 1990.02.20
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 MONKOWSKI, JOSEPH, R.;LOGAN, MARK, A.;WRIGHT, LLOYD, F.
分类号 C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/46;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/311 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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